-
Взаимодействие атомов сурьмы с микропорами в кремнии
Оджаев, В. Б., Петлицкий, А. Н., Плебанович, В. И., Садовский, П. К., Тарасик, М. И. , Челядинский, А. Р.
Взаимодействие атомов сурьмы с микропорами в кремнии, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика твердого тела .-
2018 .-
Т. 60, вып. 1. - С. 22-24 .-
Оджаев_взаимодействие
-
еттерирование примесей в кремнии и параметры структур "металл-окисел-полупроводник"
Васильев, Ю. Б., Оджаев, В. Б., Панфиленко, А. К., Петлицкий, А. Н., Садовский, П. К., Тарасик, М. И. , Филипеня, В. А., Челядинский, А. Р.
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика, 2016, № 3. - С. 37-42
-
О влиянии упругих напряжений на диффузию бора в кремнии
Оджаев, В. Б., Плебанович, В. И., Тарасик, М. И. , Челядинский, А. Р.
О влиянии упругих напряжений на диффузию бора в кремнии, В. Б. Оджаев [и др.]
3 фот., рис.
2017 .-
№ 3. - С. 88-94 .-
// Журнал Белорусского государственного университета. Физика .-
-
Создание слоя микропористого кремния путем имплантации ионов сурьмы
Садовский, П. К., Челядинский, А. Р., Оджаев, В. Б., Тарасик, М. И. , Турцевич, А. С., Васильев, Ю. Б.
Создание слоя микропористого кремния путем имплантации ионов сурьмы, [Текст]
ил., табл.
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика, 2013, № 2. - С. 15-19
