| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
О влиянии упругих напряжений на диффузию бора в кремнии В. Б. Оджаев [и др.] |
|
| Аннотация | Изучение влияния упругих напряжений на диффузию имплантированного бора в слоях кремния, дополнительно легированных элементами IV группы - Ge или C. |
| Ключевые слова |
кремний бор диффузия упругие напряжения полупроводники электростатическое взаимодействие избыточные атомы междоузельные атомы |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | № 3. - С. 88-94 |
| Название источника | Журнал Белорусского государственного университета. Физика |
