| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/563558966 |
| Дата корректировки | 13:21:55 30 января 2018 г. |
| Кодируемые данные | 180129s2017||||by |||||||||||000|||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
|
rus rus |
|
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Индекс ББК | 31.233 |
|
070 z01710 Оджаев, В. Б. доктор физико-математических наук Владимир Борисович |
|
|
О влиянии упругих напряжений на диффузию бора в кремнии В. Б. Оджаев [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 3 фот., рис. |
| Библиография | Библиогр.: с. 93-94 (14 назв.) |
| Аннотация | Изучение влияния упругих напряжений на диффузию имплантированного бора в слоях кремния, дополнительно легированных элементами IV группы - Ge или C. |
| Основная рубрика |
Энергетика Полупроводниковые материалы и изделия |
| Ключевые слова |
кремний бор диффузия упругие напряжения полупроводники электростатическое взаимодействие избыточные атомы междоузельные атомы |
|
070 z02710 Плебанович, В. И. кандидат технических наук Владимир Иванович 070 z03710 Тарасик, М. И. кандидат физико-математических наук Мария Иосифовна 070 z04710 Челядинский, А. Р. доктор физико-математических наук Алексей Романович |
|
|
z01100 Белорусский государственный университет z02700 ОАО "Планар" Минск z03700 Белорусский государственный университет z04700 Белорусский государственный университет |
|
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | № 3. - С. 88-94 |
| Название источника | Журнал Белорусского государственного университета. Физика |
| ISSN | 2520-2243 |
|
RU 863 |
|
| Тип документа | b |
| Физика конденсированного состояния |
