-
Взаимодействие атомов сурьмы с микропорами в кремнии
Оджаев, В. Б., Петлицкий, А. Н., Плебанович, В. И., Садовский, П. К., Тарасик, М. И. , Челядинский, А. Р.
Взаимодействие атомов сурьмы с микропорами в кремнии, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика твердого тела .-
2018 .-
Т. 60, вып. 1. - С. 22-24 .-
Оджаев_взаимодействие
-
Эффект Воткинса в полупроводниках. Явление и приложения в микроэлектронике
Челядинский, А. Р., Оджаев, В. Б.
Эффект Воткинса в полупроводниках. Явление и приложения в микроэлектронике, [Текст]
ил.
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика, 2011, № 3. - С. 10-17
-
еттерирование примесей в кремнии и параметры структур "металл-окисел-полупроводник"
Васильев, Ю. Б., Оджаев, В. Б., Панфиленко, А. К., Петлицкий, А. Н., Садовский, П. К., Тарасик, М. И. , Филипеня, В. А., Челядинский, А. Р.
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика, 2016, № 3. - С. 37-42
-
О влиянии упругих напряжений на диффузию бора в кремнии
Оджаев, В. Б., Плебанович, В. И., Тарасик, М. И. , Челядинский, А. Р.
О влиянии упругих напряжений на диффузию бора в кремнии, В. Б. Оджаев [и др.]
3 фот., рис.
2017 .-
№ 3. - С. 88-94 .-
// Журнал Белорусского государственного университета. Физика .-
-
Пошаговый метод имплантации кремния ионами бора при быстром термическом отжиге
Садовский, П. К., Челядинский, А. Р., Оджаев, В. Б., Углов, В. В., Гайдук, П. И., Прокопьев, С. Л., Шейников, Д. П.
Пошаговый метод имплантации кремния ионами бора при быстром термическом отжиге, [Текст]
ил.
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика, 2015, № 1. - С. 55-59
-
Диффузия имплантированного фосфора в кремнии
Челядинский, А. Р.
Диффузия имплантированного фосфора в кремнии, [Текст]
ил., табл.
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика, 2015, № 2. - С. 45-51
-
Создание слоя микропористого кремния путем имплантации ионов сурьмы
Садовский, П. К., Челядинский, А. Р., Оджаев, В. Б., Тарасик, М. И. , Турцевич, А. С., Васильев, Ю. Б.
Создание слоя микропористого кремния путем имплантации ионов сурьмы, [Текст]
ил., табл.
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика, 2013, № 2. - С. 15-19
