Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Пошаговый метод имплантации кремния ионами бора при быстром термическом отжиге
Поиск

Пошаговый метод имплантации кремния ионами бора при быстром термическом отжиге

Авторы: Садовский, П. К. Челядинский, А. Р. Оджаев, В. Б. Углов, В. В. Гайдук, П. И. Прокопьев, С. Л. Шейников, Д. П.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Пошаговый метод имплантации кремния ионами бора при быстром термическом отжиге
Текст
Другие авторы Челядинский, А. Р.
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика
2015
№ 1. - С. 55-59