| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/479208582 |
| Дата корректировки | 22:14:15 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Яновская |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Садовский, П. К. | |
|
Пошаговый метод имплантации кремния ионами бора при быстром термическом отжиге Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 6 назв. |
|
бор кремний пошаговая ионная имплантация радиационные дефекты быстрый термический отжиг |
|
| Другие авторы | Челядинский, А. Р. |
|
Оджаев, В. Б. Углов, В. В. Гайдук, П. И. Прокопьев, С. Л. Шейников, Д. П. |
|
|
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика 2015 № 1. - С. 55-59 |
|
| Тип документа | b |
