Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Диффузия имплантированного фосфора в кремнии
Поиск

Диффузия имплантированного фосфора в кремнии

Авторы: Челядинский, А. Р.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Диффузия имплантированного фосфора в кремнии
Текст
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика
2015
№ 2. - С. 45-51