| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/488284784 |
| Дата корректировки | 22:27:48 13 октября 2015 г. |
| Служба первич. каталог. | Яновская |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Челядинский, А. Р. | |
|
Диффузия имплантированного фосфора в кремнии Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 11 назв. |
|
кремний имплантированный фосфор диффузия |
|
|
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика 2015 № 2. - С. 45-51 |
|
| Тип документа | b |
