Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Создание слоя микропористого кремния путем имплантации ионов сурьмы
Поиск

Создание слоя микропористого кремния путем имплантации ионов сурьмы

Авторы: Садовский, П. К. Челядинский, А. Р. Оджаев, В. Б. Тарасик, М. И. Турцевич, А. С. Васильев, Ю. Б.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Создание слоя микропористого кремния путем имплантации ионов сурьмы
Текст
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика
2013
№ 2. - С. 15-19