| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/232777440 |
| Дата корректировки | 21:19:56 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Садовский, П. К. | |
|
Создание слоя микропористого кремния путем имплантации ионов сурьмы Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 20 назв. |
|
кремний сурьма ионная имплантация радиационные дефекты |
|
|
Челядинский, А. Р. Оджаев, В. Б. Тарасик, М. И. Турцевич, А. С. Васильев, Ю. Б. |
|
|
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика 2013 № 2. - С. 15-19 |
|
| Тип документа | b |
