-
Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А.
Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии, [[Текст]], В. М. Анищик [и др.]
табл., рис.
// Журнал Белорусского государственного университета. Физика .-
2017 .-
№ 2. - С. 63-68 .-
-
Электропроводность пленок силицида платины, сформированных с применением быстрой термообработки
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А.
Электропроводность пленок силицида платины, сформированных с применением быстрой термообработки, В. М. Анищик [и др.]
2019 .-
№ 1. - С. 27-31 .-
// Журнал Белорусского государственного университета. Физика .-
-
Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А.
Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии, В. М. Анищик [и др.]
табл., рис.
2017 .-
№ 2. - С. 63-68 .-
// Журнал Белорусского государственного университета. Физика .-
-
Влияние быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисления
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А.
Влияние быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисления, В. М. Анищик [и др.]
рис.
2018 .-
№ 2. - С. 81-85 .-
// Журнал Белорусского государственного университета. Физика .-
-
Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А.
Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика, В. М. Анищик [и др.]
Минск :
БГУ ,
2019 .-
табл.
-
Структурно-фазовые переходы в системе Pt-Si при быстрой термообработке
Пилипенко, В. А., Солодуха, В. А., Комаров, Ф. Ф., Горушко, В. А.
Структурно-фазовые переходы в системе Pt-Si при быстрой термообработке, В. А. Пилипенко, Ф. Ф. Комаров, В. А. Солодуха, В. А. Горушко
2020 .-
3 рис.
-
Изменение оптических параметров кремния после быстрой термической обработки
Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., Солодуха, В. А., Омельченко, А. А.
Изменение оптических параметров кремния после быстрой термической обработки, В. М. Анищик [и др.]
2021 .-
табл.
