Поиск

Моделирование переходных процессов в полупроводниковых приборах на основе 4H-SiC (учет неполной ионизации легирующих примесей в модуле ATLAS программного пакета SILVACO TCAD)

Авторы: Иванов, П. А. Потапов, А. С. Самсонова, Т. П.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/695754014
Дата корректировки 17:06:22 17 января 2022 г.
10.21883/FTP.2019.03.47295.9014
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Иванов, П. А.
Моделирование переходных процессов в полупроводниковых приборах на основе 4H-SiC (учет неполной ионизации легирующих примесей в модуле ATLAS программного пакета SILVACO TCAD)
Электронный ресурс
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 7 назв.
Аннотация Проведено моделирование переходного процесса в RC-цепи с обратно смещенным 4H-SiC p-n-диодом в качестве емкостного элемента. Для моделирования использовался программный модуль ATLAS, входящий в состав системы приборно-технологического проектирования SILVACO TCAD. Предложен и опробован альтернативный имеющемуся в ATLAS способ задания параметров легирующих примесей, частично ионизированных в 4H-SiC при комнатной температуре. (Имеющаяся в модуле ATLAS физическая модель INCOMPLETE, описывающая неполную ионизацию легирующих примесей в полупроводниках, непригодна для моделирования динамических характеристик приборов). Результаты моделирования обсуждаются в свете полученных ранее результатов экспериментальных исследований.
Ключевые слова полупроводниковые приборы
переходные процессы
ионизация легирующих примесей
программные модули
Потапов, А. С.
Самсонова, Т. П.
Физика и техника полупроводников
2019
Т. 53, вып. 3. - С. 407-410
Имя макрообъекта Иванов_моделирование
Тип документа b