Поиск

Электрофизические свойства нелегированных и легированных мышьяком эпитаксиальных слоев Hg[1-x]Cd[x]Te p-типа проводимости с x ~~ 0.4, выращенных методом MOCVD

Авторы: Евстигнеев, В. С. Варавин, В. С. Чилясов, А. В. Ремесник, В. Г. Моисеев, А. Н. Степанов, Б. С.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/688126963
Дата корректировки 10:43:25 21 октября 2021 г.
10.21883/FTP.2018.06.45914.8696
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Евстигнеев, В. С.
Электрофизические свойства нелегированных и легированных мышьяком эпитаксиальных слоев Hg[1-x]Cd[x]Te p-типа проводимости с x ~~ 0.4, выращенных методом MOCVD
Электронный ресурс
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 16 назв.
Аннотация Исследованы температурные зависимости концентрации носителей заряда и времени жизни неосновных носителей заряда в нелегированных и легированных мышьяком эпитаксиальных слоях Hg[1-x]Cd[x]Te p-типа проводимости c x ~~ 0.4, полученных методом MOCVD-IMP. Показано, что температурные зависимости концентрации носителей заряда могут быть описаны моделью, предполагающей наличие одного акцепторного и одного донорного уровней. Значения энергий ионизации акцепторов в нелегированном и легированном мышьяком материалax составили 14 и 3.6 мэВ соответственно. Установлено, что доминирующим механизмом рекомбинации в нелегированных слоях является рекомбинация Шокли-Рида-Холла, а после низкотемпературного равновесного отжига в парах ртути (230°C, 24 ч) - излучательная рекомбинация. Фундаментальное ограничение времени жизни в легированном мышьяком материалe обусловлено ожепроцессом 7. Активационный отжиг (360°C, 2 ч) легированных слоев позволяет достичь 100%-й активации мышьяка.
Ключевые слова нелегированные эпитаксиальные слои
легированные эпитаксиальные слои
эпитаксиальные слои
мышьяк
метод MOCVD
рекомбинация Шокли-Рида-Холла
температурные зависимости
электрофизические свойства
Варавин, В. С.
Чилясов, А. В.
Ремесник, В. Г.
Моисеев, А. Н.
Степанов, Б. С.
Физика и техника полупроводников
2018
Т. 52, вып. 6. - С. 554-559
Имя макрообъекта Евстигнеев_электрофизические
Тип документа b