| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/676390339 |
| Дата корректировки | 14:22:16 7 июня 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2020.09.49839.33 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Дроздов, Ю. Н. | |
|
Особенности газофазной эпитаксии GaAs на непланарных подложках Электронный ресурс |
|
| Features of gas-phase epitaxy of GaAs on non-planar substrates | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 3 назв. |
| Аннотация | Исследованы особенности формы поверхности эпитаксиальных слоев GaAs, выращенных на канавках шириной в несколько микрометров с вертикальными стенками и аспектным соотношением, близким к единице. Канавки формировались на поверхности пластины GaAs в установке плазмохимического травления, заращивались методом металлоорганической газофазной эпитаксии при пониженном давлении в реакторе. |
| Служебное примечание | Краёв, С. А. |
| Ключевые слова | плазмохимическое травление |
|
узкие канавки непланарные подложки газофазная эпитаксия эпитаксия эпитаксиальные слои арсенид галлия |
|
|
Краев, С. А. Охапкин, А. И. Данильцев, В. М. Скороходов, Е. В. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 9. - С. 958-961 |
|
| Имя макрообъекта | Дроздов_особенности |
| Тип документа | b |
