| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Особенности газофазной эпитаксии GaAs на непланарных подложках Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | плазмохимическое травление |
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 9. - С. 958-961 |
|
| Имя макрообъекта | Дроздов_особенности |
