Особенности газофазной эпитаксии GaAs на непланарных подложках
Дроздов, Ю. Н., Краёв, С. А., Краев, С. А., Охапкин, А. И., Данильцев, В. М., Скороходов, Е. В.
Особенности газофазной эпитаксии GaAs на непланарных подложках, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2020, Т. 54, вып. 9. - С. 958-961
Дроздов_особенности