| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/669719227 |
| Дата корректировки | 9:28:22 22 марта 2021 г. |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382 |
| Королев, Д. С. | |
|
Послойный состав и структура кремния, подвергнутого совместной ионной имплантации галлия и азота для ионного синтеза GaN Электронный ресурс |
|
| Layer-by-layer composition and structure of silicon co-implanted with gallium and nitrogen ions for ion synthesis of GaN | |
| Библиография | Библиогр.: 13 назв. |
| Аннотация | Исследованы состав и структура приповерхностных слоев кремния, подвергнутых совместной имплантации ионов галлия и азота с последующим отжигом, методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, резерфордовского обратного рассеяния, электронного парамагнитного резонанса, рамановской спектроскопии и просвечивающей электронной микроскопии. Обнаружено небольшое перераспределение имплантированных атомов перед отжигом и существенный сдвиг к поверхности во время отжига в зависимости от порядка имплантации. Установлено, что около 2% атомов имплантированного слоя замещены галлием, связанным с азотом, однако фазу нитрида галлия выявить не удалось. В то же время обнаружены обогащенные галлием включения, содержащие ~ 25 ат% галлия, как кандидаты для последующего синтеза включений GaN. |
| Служебное примечание | Королёв, Д. С. |
| Ключевые слова | кремний |
|
галлий азот ионная имплантация ионный синтез GaN рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия резерфордовское обратное рассеяние электронный парамагнитный резонанс спектроскопия электронная микроскопия имплантированные примеси нанокристаллы GaN |
|
|
Михайлов, А. Н. Белов, А. И. Васильев, В. К. Гусейнов, Д. В. Окулич, Е. В. Шемухин, А. А. Суродин, С. И. Николичев, Д. Е. Нежданов, А. В. Пирогов, А. В. Павлов, Д. А. Тетельбаум, Д. И. |
|
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 50, вып. 2. - С. 274-278 |
| Имя макрообъекта | Королев_послойный |
| Тип документа | b |
