Поиск

Структурные и фотолюминесцентные свойства низкотемпературного GaAs, выращенного на подложках GaAs (100) и GaAs (111)A

Авторы: Галиев, Г. Б. Пушкарёв, С. С. Климов, М. А. Грехов, М. М. Пушкарев, С. С. Лаврухин, Д. В. Мальцев, П. П.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/669563215
Дата корректировки 13:59:35 20 марта 2021 г.
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Галиев, Г. Б.
Структурные и фотолюминесцентные свойства низкотемпературного GaAs, выращенного на подложках GaAs (100) и GaAs (111)A
Электронный ресурс
Structural and photoluminescent properties of low-temperature GaAs grown on GaAs (100) and GaAs (111)A
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил., табл.
Библиография Библиогр.: 25 назв.
Аннотация Исследовались нелегированные, однородно легированные Si и дельта-легированные Si слои GaAs, выращенные методом молекулярно-лучевой эпитаксии при температуре 230°C на подложках GaAs с кристаллографической ориентацией (100) и (111)A. Давление As[4] варьировалось. Шероховатость поверхности образцов определялась с помощьюа томно-силовой микроскопии, кристаллическое совершенство образцов - с помощью рентгеновской дифрактометрии, энергетические уровни различных дефектов - с помощью спектроскопии фотолюминесценции при температуре 79K. Показано, что кристаллическая структура более дефектна в случае использования подложек GaAs (111)A. Также показано влияние величины потока As[4] во время роста на кристаллическую структуру низкотемпературного GaAs, выращенного на разных типах подложек.
Пушкарёв, С. С.
Ключевые слова молекулярно-лучевая эпитаксия
кристаллографическая ориентация
спектроскопия
фотолюминесценция
арсенид галлия
полупроводники
эпитаксиальные пленки
Климов, М. А.
Грехов, М. М.
Пушкарев, С. С.
Лаврухин, Д. В.
Мальцев, П. П.
Название источника Физика и техника полупроводников
Место и дата издания 2016
Прочая информация Т. 50, вып. 2. - С. 195-203
Имя макрообъекта Галиев_структурные
Тип документа b