| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | BY/FL BSU/Stat/Lesovaya/279b306c69134c56ac289ac4eb0c4de2 |
| Дата корректировки | 13:48:23 27 января 2021 г. |
| Кодируемые данные | 210113s2020||||by |||||||||||||||||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 621.382 |
| Индекс ББК | 32.852 |
|
070 Оджаев, В. Б. доктор физико-математических наук Владимир Борисович Белорусский государственный университет |
|
|
Влияние ионной имплантации азота на электрофизические свойства подзатворного диэлектрика силовых МОП-транзисторов В. Б. Оджаев [и др.] |
|
| Дата издания оригинала | 2020 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | рис. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 62-63 (22 назв.) |
| Аннотация | Исследованы силовые МОП-транзисторы с вертикальной структурой. |
|
Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы |
|
| Ключевые слова |
транзисторы МОП-транзисторы диэлектрики подзатворные диэлектрики ионная имплантация азот ионы азота электрофизические свойства |
|
070 Панфиленко, А. К. Анатолий Кузьмич ОАО "Интеграл" 070 Петлицкий, А. Н. кандидат физико-математических наук Александр Николаевич ОАО "Интеграл" 070 Просолович, В. С. кандидат физико-математических наук Владислав Савельевич Белорусский государственный университет 070 Ковальчук, Н. С. кандидат технических наук Наталья Станиславовна ОАО "Интеграл" 070 Соловьев, Я. А. кандидат технических наук Ярослав Александрович ОАО "Интеграл" 070 Филипеня, В. А. Виктор Анатольевич ОАО "Интеграл" 070 Шестовский, Д. В. Дмитрий Викторович ОАО "Интеграл" |
|
|
BY/FL BSU/Stat/Lesovaya/fce98d220d344625b908bbc796acd354 Журнал Белорусского государственного университета. Физика 2020 № 3. - С. 55-64 2520-2243 |
|
| RU | |
| 863 | |
|
https://elib.bsu.by/handle/123456789/253780 |
|
|
https://doi.org/10.33581/2520-2243-2020-3-55-64 |
|
| Тип документа | b |
| Физика и техника полупроводников |
