-
Влияние ионной имплантации азота на электрофизические свойства подзатворного диэлектрика силовых МОП-транзисторов
Оджаев, В. Б., Панфиленко, А. К., Петлицкий, А. Н., Просолович, В. С., Ковальчук, Н. С., Соловьев, Я. А., Филипеня, В. А., Шестовский, Д. В.
Влияние ионной имплантации азота на электрофизические свойства подзатворного диэлектрика силовых МОП-транзисторов, В. Б. Оджаев [и др.]
2020 .-
рис.
-
Формирование силицида никеля быстрой термообработкой в режиме теплового баланса
Пилипенко, В. А., Соловьев, Я. А., Гайдук, П. И.
Формирование силицида никеля быстрой термообработкой в режиме теплового баланса, В. А. Пилипенко, Я. А. Соловьев , П. И. Гайдук
2021 .-
табл., рис.
-
Идентификация фаз силицидов никеля на поверхности кремния по спектрам комбинационного рассеяния света
Солодуха, В. А., Турцевич, А. С., Соловьев, Я. А., Сарычев, О. Э., Мильчанин, О. В.
Идентификация фаз силицидов никеля на поверхности кремния по спектрам комбинационного рассеяния света, [Текст]
Журнал прикладной спектроскопии, 2012, Т. 79, № 6. - С. 1002-1005
-
Формирование силицидов в двухслойных структурах никель-ванадиевый сплав-платина на кремнии при быстрой термической обработке
Соловьев, Я. А., Гайдук, П. И.
Формирование силицидов в двухслойных структурах никель-ванадиевый сплав-платина на кремнии при быстрой термической обработке, Я. А. Соловьев, П. И. Гайдук
2024 .-
7 рис., 1 табл.
-
Электрофизические характеристики силовых МОП-трансзисторов, дополнительно имплантированных ионами азота
Оджаев, В. Б., Петлицкий, А. Н., Просолович, В. С., Ковальчук, Н. С., Соловьев, Я. А., Шестовский, Д. В., Явид, В. Ю., Янковский, Ю. Н.
Электрофизические характеристики силовых МОП-трансзисторов, дополнительно имплантированных ионами азота, В. Б. Оджаев [и др.]
2022 .-
7 рис., 1 табл.
