| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | ivch19_to62_vy7_ss72_ad1 |
| Дата корректировки | 11:33:41 1 ноября 2019 г. |
| Кодируемые данные | 191008s2019||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-ivch19_to62_vy7_ss72_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БУК Омская государственная областная научная библиотека им. А.С. Пушкина МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
eng eng |
| Индекс УДК |
544 544.35 |
| Индекс ББК |
24.5 24.56 |
|
Таблицы для массовых библиотек Таблицы для массовых библиотек |
|
|
Efremov, A. M. 070 z01710 |
|
|
Plasma parameters and kinetics of active species in HBr + Cl[2] + O[2] gas mixture [Текст] A. M. Efremov [и др.] |
|
|
Параметры плазмы и кинетики активных частиц в смеси HBr + Cl[2] + O[2] rus |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 3 рис. |
| Библиография | Библиогр.: с. 78-79 (33 назв.) |
| Аннотация | В данной работе проведено комбинированное (экспериментальное и теоретическое) исследование характеристик газовой фазы индукционного 13, 56 МГц ВЧ-разряда низкого давления в трехкомпонентной смеси HBr + Cl[2] + O[2]. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарному составу газовой фазы были получены при совместном использовании диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. |
|
Химия AR-MARS Физическая химия в целом AR-MARS Растворы AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
параметры плазмы скорости реакции кинетика плазмы потоки атомов галогенов потоки энергии ионов скорости травления активные частицы скорости активных частиц зонды Лангмюра Лангмюра зонды |
|
Betelin, V. B. 070 z02710 Kwon, K. -H. 070 z03710 Snegirev, D. G. 070 z04710 |
|
|
Ивановский государственный химико-технологический университет z01700 Иваново Вторичная ответственность Ивановская пожарно-спасательная академия ГПС МЧС России z01700 Иваново Вторичная ответственность Научно-исследовательский институт системных исследований Ран z02700 Москва Вторичная ответственность Департамент разработки средств и методов контроля, Университет Корея z03700 Корея Вторичная ответственность Ивановская пожарно-спасательная академия ГПС МЧС России z04700 Иваново Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0579-2991 |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 62, вып. 7. - С. 72-79 |
|
RU 64417093 20191008 RCR |
|
|
RU 64417093 20191008 |
|
|
RU AR-MARS 20191008 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20191008 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
ivch 2019 62 7 72 1 |
|
| 421 | |
| Химия | |
|
Ефремов, А. М. Александр Михайлович 070 z01712 Бетелин, В. Б. Владимир Борисович 070 z02712 Снегирев, Д. Г. Дмитрий Геннадьевич 070 z04712 |
|
|
Кванг-Хо Квон 070 z03712 |
