| Индекс УДК |
544 544.35 |
|
Plasma parameters and kinetics of active species in HBr + Cl[2] + O[2] gas mixture [Текст] A. M. Efremov [и др.] |
|
| Аннотация | В данной работе проведено комбинированное (экспериментальное и теоретическое) исследование характеристик газовой фазы индукционного 13, 56 МГц ВЧ-разряда низкого давления в трехкомпонентной смеси HBr + Cl[2] + O[2]. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарному составу газовой фазы были получены при совместном использовании диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 62, вып. 7. - С. 72-79 |
