Plasma parameters and composition in CF[4]/O[2]/Ar gas mixture
Efremov, A. M., Kwon, K. -H.
Plasma parameters and composition in CF[4]/O[2]/Ar gas mixture, [[Текст]], A. M. Efremov, K.-H. Kwon
2 рис.
// Известия вузов. Химия и химическая технология .-
2017 .-
Т. 60, вып. 1. - С. 50-55 .-