| Индекс УДК | 544 |
|
Plasma parameters and composition in CF[4]/O[2]/Ar gas mixture [Текст] A. M. Efremov, K.-H. Kwon |
|
| Аннотация | Изучено влияние соотношения концентраций O[2]/Ar в смеси CF[4]/O[2]/Ar на параметры плазмы и потоки активных частиц, определяющие кинетику сухого травления в данной системе. Исследования проводились с использованием совокупности методов диагностики и моделирования плазмы. |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 60, вып. 1. - С. 50-55 |
