| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | ivch17_to60_vy1_ss50_ad1 |
| Дата корректировки | 15:38:46 18 апреля 2017 г. |
| Кодируемые данные | 170328s2017||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-ivch17_to60_vy1_ss50_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БУК Омская государственная областная научная библиотека им. А.С. Пушкина МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
eng eng |
| Индекс УДК | 544 |
| Индекс ББК | 24.5 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Efremov, A. M. z01710 070 |
|
|
Plasma parameters and composition in CF[4]/O[2]/Ar gas mixture [Текст] A. M. Efremov, K.-H. Kwon |
|
|
Параметры и состав плазмы в смеси CF[4]/O[2]/Ar rus |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 2 рис. |
| Библиография | Библиогр.: с. 54-55 (18 назв.) |
| Аннотация | Изучено влияние соотношения концентраций O[2]/Ar в смеси CF[4]/O[2]/Ar на параметры плазмы и потоки активных частиц, определяющие кинетику сухого травления в данной системе. Исследования проводились с использованием совокупности методов диагностики и моделирования плазмы. |
|
Химия AR-MARS Физическая химия в целом AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
плазмы диагностика моделирование кинетика реакций кинетика травления плазменная полимеризация кинетика плазменной полимеризации замещение аргона кислород моделирование плазмы |
|
Kwon, K. -H. Kwang-Ho 070 z02710 |
|
|
Ивановский государственный химико-технологический университет z01100 Иваново Вторичная ответственность Department of Control and instrumentation Engineering z02700 Korea Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0579-2991 |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 60, вып. 1. - С. 50-55 |
|
RU 64417093 20170328 RCR |
|
|
RU 64417093 20170328 |
|
|
RU AR-MARS 20170328 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20170328 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
ivch 2017 60 1 50 1 |
|
| 421 | |
| Химия | |
|
Ефремов, А. М. Александр Михайлович 070 z01712 Квон, К. -Х. 070 z02712 |
