| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/684241983 |
| Дата корректировки | 9:37:26 18 ноября 2021 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Свежинцева |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 533.9.082.5 |
|
Мадвейко, С. И. С. И. Мадвейко |
|
|
Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БНТУ |
| Дата издания оригинала | 2020 |
| Библиография | Библиогр.: 3 назв. |
|
полупроводниковые материалы плазменная обработка кремниевые подложки сверхвысокочастотный разряд плазмотроны плазмотроны резонаторного типа |
|
|
Тихон, О. И. О. И. Тихон Тодин, П. А. П. А. Тодин Бордусов, С. В. С. В. Бордусов Достанко, А. П. А. П. Достанко |
|
| Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники | |
|
Приборостроение - 2020 Минск : БНТУ, 2020 С. 275-277 RU/IS/BASE/672143416 978-985-583-587-6 |
|
| Тип документа | b |
