Поиск

Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа

Авторы: Мадвейко, С. И. Тихон, О. И. Тодин, П. А. Бордусов, С. В. Достанко, А. П.
Местонахождение Подробная информация
Индекс УДК 533.9.082.5
Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа
Текст
Место издания Минск
Издательство БНТУ
Дата издания оригинала 2020
Приборостроение - 2020
Минск : БНТУ, 2020
С. 275-277
RU/IS/BASE/672143416
978-985-583-587-6