Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа
Мадвейко, С. И., Тихон, О. И., Тодин, П. А., Бордусов, С. В., Достанко, А. П.
Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа, [Текст]
Минск :
БНТУ ,
2020 .-
Приборостроение - 2020, Минск : БНТУ, 2020, С. 275-277, RU/IS/BASE/672143416, 978-985-583-587-6