Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники
Достанко, Анатолий Павлович, Завадский, С. М., Ланин, В. Л., Мадвейко, С. И., Мельников, С. Н., Петлицкий, А. Н., Петухов, И. Б., Пилипенко, В. А. , Солодуха, В. А., Телеш, Е. В.
Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники, Национальная академия наук Беларуси, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; под общ. ред. акад. А. П. Достанко, [Текст]
Минск :
Беларуская навука ,
2020 .-
259, [1] с. .-
цв. ил., табл.
Авт. указаны на обороте тит. л. .-