| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | ivch25_to68_vy1_ss39_ad1 |
| Дата корректировки | 12:39:09 23 мая 2025 г. |
| Кодируемые данные | 250227s2025||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-ivch25_to68_vy1_ss39_ad1 |
| AR-MARS | |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
eng eng |
| Индекс УДК | 544.4 |
| Индекс ББК | 24.542 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Efremov, A. M. Научно-исследовательский институт молекулярной электроники 070 |
|
|
On effects of initial CF[4] + CHF[3] + O[2] mixture composition on plasma parameters and reactive-ion etching of silicon A. M. Efremov, A. V. Bobylev, E. M. Kaznacheeva, Kwang-Ho Kwon |
|
|
О влиянии начального состава смеси CF[4] + CHF[3] + O[2] на параметры плазмы и кинетику реактивно-ионного травления кремния rus |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 3 рис., 2 табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 46-47 (31 назв.) |
| Аннотация | Работа посвящена механизмам влияния соотношения CF[4]/CHF[3] в плазмообразующей смеси CF[4] + CHF[3] + O[2] на стационарный состав плазмы и кинетику травления кремния в типичных условиях реактивно-ионного процесса. В исследовании подтверждены основные свойства плазмы CF[4] + O[2] и CHF[3] + O[2]. Обнаружено, что замена CF[4] на CHF[3] при фиксированном содержании кислорода в исходном газе вызывает изменения температуры электронов и плотности плазмы. |
|
Химия AR-MARS Химическая кинетика AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
параметры плазмы свойства плазмы реактивно-ионные процессы содержание кислорода газы плотность плазмы кинетика травления кинетика активных частиц механизмы травления кремний |
|
Bobylev, A. V. Ивановский государственный химико-технологический университет 070 Kaznacheeva, E. M. Ивановский государственный химико-технологический университет 070 |
|
| Другие авторы |
Kwang-Ho Kwon Korea University 070 |
| ISSN | 0579-2991 |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2025 |
| Прочая информация | Т. 68, вып. 1. - С. 39-47 |
|
RU 64417093 20250227 RCR |
|
|
RU 64417093 20250227 |
|
|
RU AR-MARS 20250227 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20250227 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
ivch 2025 68 1 39 1 |
|
| 421 | |
| Химия | |
|
Ефремов, А. М. Александр Михайлович 070 Бобылев, А. В. Александр Викторович 070 Казначеева, Е. М. Екатерина Михайловна 070 |
|
|
Кванг-Хо Квон 070 |
