| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | ivch24_to67_vy11_ss40_ad1 |
| Дата корректировки | 10:22:47 31 января 2025 г. |
| Кодируемые данные | 250122s2024||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-ivch24_to67_vy11_ss40_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БУК Омская государственная областная научная библиотека им. А.С. Пушкина МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
eng eng |
| Индекс УДК | 546 |
| Индекс ББК | 24.1 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Efremov, A. M. Научно-исследовательский институт молекулярной электроники 070 |
|
|
Concerning effects of inert carrier gas on densities of active species and ZrO[2] etching kinetics in chlorine plasma A. M. Efremov, S. A. Smirnov, V. B. Betelin, Kwang-Ho Kwon |
|
|
О влиянии инертного газа-носителя на концентрации активных частиц и кинетику травления ZrO[2] в плазме хлора rus |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 5 рис. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 52-54 (44 назв.) |
| Аннотация | Представлены результаты исследования влияния вида и содержания инертного газа-носителя на электрофизические параметры плазмы хлора, стационарные концентрации активных частиц и кинетику их взаимодействия с ZrO[2] в условиях "мягкого" реактивно-ионного травления. |
|
Химия AR-MARS Общая и неорганическая химия в целом AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
оксиды циркония двуокись циркония параметры активные частицы ионизация диссоциация травление вероятность реакции плазмы хлора реактивно-ионное травление |
|
Smirnov, S. A. Ивановский государственный химико-технологический университет 070 Betelin, V. B. Ивановский государственный химико-технологический университет 070 |
|
| Другие авторы |
Kwang-Ho Kwon Korea University 070 |
| ISSN | 0579-2991 |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2024 |
| Прочая информация | Т. 67, вып. 11. - С. 40-54 |
|
RU 64417093 20250122 RCR |
|
|
RU 64417093 20250122 |
|
|
RU AR-MARS 20250122 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20250122 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
ivch 2024 67 11 40 1 |
|
| 421 | |
| Химия | |
|
Ефремов, А. М. Александр Михайлович 070 Смирнов, С. А. Сергей Александрович 070 Бетелин, В. Б. Владимир Борисович 070 |
|
|
Кванг-Хо Квон 070 |
