| Индекс УДК | 546 |
|
Concerning effects of inert carrier gas on densities of active species and ZrO[2] etching kinetics in chlorine plasma A. M. Efremov, S. A. Smirnov, V. B. Betelin, Kwang-Ho Kwon |
|
| Аннотация | Представлены результаты исследования влияния вида и содержания инертного газа-носителя на электрофизические параметры плазмы хлора, стационарные концентрации активных частиц и кинетику их взаимодействия с ZrO[2] в условиях "мягкого" реактивно-ионного травления. |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2024 |
| Прочая информация | Т. 67, вып. 11. - С. 40-54 |
