| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | ivch24_to67_vy1_ss51_ad1 |
| Дата корректировки | 13:00:37 29 ноября 2024 г. |
| Кодируемые данные | 241105s2024||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-ivch24_to67_vy1_ss51_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БУК Омская государственная областная научная библиотека им. А.С. Пушкина МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
eng eng |
| Индекс УДК | 544 |
| Индекс ББК | 24.5 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Efremov, A. M. Ивановский государственный химико-технологический университет 070 |
|
|
On the effect of oxygen on plasma chemical kinetics in CF[4] + O[2] and C[4]F[8] + O[2] gas mixtures A. M. Efremov, D. E. Bashmakova, Kwang-Ho Kwon |
|
|
О влиянии кислорода на кинетику плазмохимических процессов в смесях CF[4] + O[2] и C[4]F[8] + O[2] rus |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 2 рис., 2 табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 58-59 (25 назв.) |
| Аннотация | Проведено сравнительное исследование электрофизических параметров плазмы, концентраций активных частиц и кинетики атомов фтора в смесях CF[4] + O[2] и C[4]F[8] + O[2] при варьировании их начального состава в условиях постоянства давления газа и вкладываемой мощности. Показано, что а) добавка кислорода снижает полимеризационную способность плазмы и б) система C[4]F[8] + O[2] отличается более высокой полимеризационной способностью при любом фиксированном составе смеси. |
|
Химия AR-MARS Физическая химия в целом AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
плазмы параметры активные частицы ионизация диссоциация травление полимеризация исследования электрофизические параметры плазмы |
|
Bashmakova, D. E. Ивановский государственный химико-технологический университет 070 |
|
| Другие авторы |
Kwang-Ho Kwon Korea University 070 |
| ISSN | 0579-2991 |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2024 |
| Прочая информация | Т. 67, вып. 1. - С. 51-59 |
|
RU 64417093 20241105 RCR |
|
|
RU 64417093 20241105 |
|
|
RU AR-MARS 20241105 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20241105 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
ivch 2024 67 1 51 1 |
|
| 421 | |
| Химия | |
|
Ефремов, А. М. Александр Михайлович Башмакова, Д. Е. Дарья Евгеньевна |
|
| Кванг-Хо Квон |
