| Индекс УДК | 544 |
|
On the effect of oxygen on plasma chemical kinetics in CF[4] + O[2] and C[4]F[8] + O[2] gas mixtures A. M. Efremov, D. E. Bashmakova, Kwang-Ho Kwon |
|
| Аннотация | Проведено сравнительное исследование электрофизических параметров плазмы, концентраций активных частиц и кинетики атомов фтора в смесях CF[4] + O[2] и C[4]F[8] + O[2] при варьировании их начального состава в условиях постоянства давления газа и вкладываемой мощности. Показано, что а) добавка кислорода снижает полимеризационную способность плазмы и б) система C[4]F[8] + O[2] отличается более высокой полимеризационной способностью при любом фиксированном составе смеси. |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2024 |
| Прочая информация | Т. 67, вып. 1. - С. 51-59 |
