| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | ivch24_to67_vy6_ss29_ad1 |
| Дата корректировки | 8:39:44 30 сентября 2024 г. |
| Кодируемые данные | 240916s2024||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-ivch24_to67_vy6_ss29_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БУК Омская государственная областная научная библиотека им. А.С. Пушкина МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
eng eng |
| Индекс УДК | 543 |
| Индекс ББК | 24.4 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Efremov, А. М. Ивановский государственный химико-технологический университет 070 |
|
|
Plasma parametrs and silicon etching kinetics in CF[4] + C[4]F[8] + O[2] mixture: effect of CF[4]/C[4]F[8] mixing ratio A. M. Efremov, A. V. Bobylev, Kwang-Ho Kwon |
|
|
Параметры плазмы и кинетика травления кремния в смеси CF[4] + C[4]F[8] + O[2]: эффект соотношения CF[4]/C[4]F[8] rus |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 3 рис., 2 табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 36-37 (32 назв.) |
| Аннотация | Исследовано влияние соотношения фторуглеродных компонентов в плазмообразующей смеси CF[4] + C[4]F[8] + O[2] на электрофизические параметры плазмы, стационарные концентрации активных частиц и кинетику травления кремния в условиях, типичных для реактивно-ионных процессов. Подтверждены известные особенности химии плазмы в индивидуальных фторуглеродных газах в присутствии кислорода. Проведен детальный анализ кинетики атомов фтора и кислорода для трехкомпонентной смеси. |
|
Химия AR-MARS Аналитическая химия в целом AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
фторуглеродные компоненты плазмообразующие смеси кинетика травления кремния кремний реактивно-ионные процессы плазма параметры активные частицы ионизация диссоциация полимеризация |
|
Bobylev, A. V. Ивановский государственный химико-технологический университет 070 |
|
| Другие авторы |
Kwang-Ho Kwon Korea University 070 |
| ISSN | 0579-2991 |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2024 |
| Прочая информация | Т. 67, вып. 6. - С. 29-37 |
|
RU 64417093 20240916 RCR |
|
|
RU 64417093 20240916 |
|
|
RU AR-MARS 20240916 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20240916 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
ivch 2024 67 6 29 1 |
|
| 421 | |
| Химия | |
|
Ефремов, А. М. Александр Михайлович 070 Бобылев, А. В. Александр Викторович 070 |
|
|
Кван-Хо Квон 070 |
