Каталог библиотеки БГТУ

1. Базы данных
2. Статьи
3. Автор
4. Efremov, А. М.

Статьи. Автор - Efremov, А. М.

• Plasma parameters and active species kinetics in CF[4]+C[4]F[8]+Ar gas mixture
  Efremov, А. М., Мurin, D. B., Kwang Ho Кwon
  
  Plasma parameters and active species kinetics in CF[4]+C[4]F[8]+Ar gas mixture, [[Текст]], А. M. Efremov, D. B. Murin, K. H. Kwon 2 рис., 1 табл. // Известия вузов. Химия и химическая технология .- 2018 .- Т. 61, вып. 4/5. - С. 31-36 .-
• Plasma parametrs and silicon etching kinetics in CF[4] + C[4]F[8] + O[2] mixture: effect of CF[4]/C[4]F[8] mixing ratio
  Efremov, А. М., Kwang-Ho Kwon, Bobylev, A. V.
  
  Plasma parametrs and silicon etching kinetics in CF[4] + C[4]F[8] + O[2] mixture: effect of CF[4]/C[4]F[8] mixing ratio, A. M. Efremov, A. V. Bobylev, Kwang-Ho Kwon 3 рис., 2 табл. // Известия вузов. Химия и химическая технология .- 2024 .- Т. 67, вып. 6. - С. 29-37 .-