| Индекс УДК | 544 |
|
Plasma parameters and active species kinetics in CF[4]+C[4]F[8]+Ar gas mixture [Текст] А. M. Efremov, D. B. Murin, K. H. Kwon |
|
| Аннотация | В данной работе обсуждаются взаимосвязи между начальным составом смеси CF[4]+C[4]F[8]+ Ar, характеристиками газовой фазы и кинетикой гетерогенных процессов в условиях плазмы индукционного разряда пониженного давления. Целью работы являлось исследование зависимостей внутренних параметров плазмы (температура электронов, концентрация электронов, энергия ионной бомбардировки) и кинетики активных частиц от соотношения компонентов CF[4]/C[4]F[8] в плазмообразующей смеси. |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 61, вып. 4/5. - С. 31-36 |
