| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | stik23_no6_ss69_ad1 |
| Дата корректировки | 11:23:15 31 июля 2023 г. |
| Кодируемые данные | 230622s2023||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-stik23_no6_ss69_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научно-техническая библиотека Российского Федерального Ядерного центра - Всероссийского научно-исследовательского института технической физики им. акад. Е. И. Забабахина МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 666.29 |
| Индекс ББК | 35.42 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
| 61.35.29 | |
|
Шахмаева, А. Р. Дагестанский государственный технический университет, Махачкала, Дагестан (Россия) 070 |
|
|
Применение карбидокремниевого песка в технологии обработки обратной стороны кремниевых транзисторных структур А. Р. Шахмаева, Э. Казалиева |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 4 рис. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 72 (7 назв.) |
| Аннотация | Предложен метод обработки обратной стороны кремниевых транзисторных структур перед процессом напыления металлов и получения контакта к коллектору формируемого транзистора. Исследованы параметры шероховатости поверхности обработанной карбидокремниевым песком кремниевой поверхности в целях улучшения адгезионных свойств перед напылением контакта к коллекторной области транзистора. |
|
Химическая технология AR-MARS Керамические изделия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
карбид кремния карбидокремниевый песок кремниевые транзисторные структуры кристаллы транзисторы |
|
Казалиева, Э. Дагестанский государственный технический университет, Махачкала, Дагестан (Россия) 070 |
|
| ISSN | 0131-9582 |
| Название источника | Стекло и керамика |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | № 6. - С. 69-72 |
|
RU 45642206 20230622 RCR |
|
|
RU 45642206 20230622 |
|
|
RU AR-MARS 20230623 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20230623 |
|
| Тип документа | b |
|
code year no ss ad |
|
|
stik 2023 6 69 1 |
|
| 965 |
