| Индекс УДК | 666.29 |
|
Применение карбидокремниевого песка в технологии обработки обратной стороны кремниевых транзисторных структур А. Р. Шахмаева, Э. Казалиева |
|
| Аннотация | Предложен метод обработки обратной стороны кремниевых транзисторных структур перед процессом напыления металлов и получения контакта к коллектору формируемого транзистора. Исследованы параметры шероховатости поверхности обработанной карбидокремниевым песком кремниевой поверхности в целях улучшения адгезионных свойств перед напылением контакта к коллекторной области транзистора. |
| Название источника | Стекло и керамика |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | № 6. - С. 69-72 |
