-
Защита поверхности кремниевых подложек на основе легкоплавкого стекла для изготовления кремниевых транзисторов
Исмаилов, Т. А., Саркаров, Т. Э., Шангереева, Б. А., Шахмаева, А. Р.
Защита поверхности кремниевых подложек на основе легкоплавкого стекла для изготовления кремниевых транзисторов, [[Текст]], Т. А. Исмаилов [и др.]
// Стекло и керамика .-
2017 .-
№ 5. - С. 25-28 .-
-
Применение карбидокремниевого песка в технологии обработки обратной стороны кремниевых транзисторных структур
Шахмаева, А. Р., Казалиева, Э.
Применение карбидокремниевого песка в технологии обработки обратной стороны кремниевых транзисторных структур, А. Р. Шахмаева, Э. Казалиева
4 рис.
// Стекло и керамика .-
2023 .-
№ 6. - С. 69-72 .-
-
Способ обработки кварцевой оснастки в процессе изготовления структур микро- и наноэлектроники
Исламов, Т. А., Саркаров, Т. Э., Шахмаева, А. Р., Шангереева, Б. А.
Способ обработки кварцевой оснастки в процессе изготовления структур микро- и наноэлектроники, [[Текст]], Т. А. Исламов [и др.]
1 табл.
// Стекло и керамика .-
2018 .-
№ 12. - С. 37-39 .-
