| Индекс УДК | 666.3/.7 |
|
Способ обработки кварцевой оснастки в процессе изготовления структур микро- и наноэлектроники [Текст] Т. А. Исламов [и др.] |
|
| Аннотация | Проведены исследования влияния различных способов обработки кварцевой оснастки в целях полного удаления труднорастворимых пленок боросиликатного и фосфоросиликатного стекол. Приведены оптимальные технологические режимы обработки кварцевой оснастки. |
| Название источника | Стекло и керамика |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | № 12. - С. 37-39 |
