| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | stik18_no12_ss37_ad1 |
| Дата корректировки | 14:18:25 31 января 2019 г. |
| Кодируемые данные | 190117s2018||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-stik18_no12_ss37_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научно-техническая библиотека Российского Федерального Ядерного центра - Всероссийского научно-исследовательского института технической физики им. акад. Е. И. Забабахина МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 666.3/.7 |
| Индекс ББК | 35.43 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
| 61.35.31 | |
|
Исламов, Т. А. 070 z01710 |
|
|
Способ обработки кварцевой оснастки в процессе изготовления структур микро- и наноэлектроники [Текст] Т. А. Исламов [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 1 табл. |
| Библиография | Библиогр.: с. 38-39 (23 назв.) |
| Аннотация | Проведены исследования влияния различных способов обработки кварцевой оснастки в целях полного удаления труднорастворимых пленок боросиликатного и фосфоросиликатного стекол. Приведены оптимальные технологические режимы обработки кварцевой оснастки. |
|
Химическая технология AR-MARS Стекло и стеклоизделия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
боросиликатное стекло кварцевая оснастка микроэлектроника наноэлектроника фосфоросиликатное стекло |
|
Саркаров, Т. Э. 070 z02710 Шахмаева, А. Р. 070 z03710 Шангереева, Б. А. 070 z04710 |
|
|
ФГБОУ ВО "Дагестанский государственный технический университет" z01700 Махачкала (Россия) Вторичная ответственность ФГБОУ ВО "Дагестанский государственный технический университет" z02700 Махачкала (Россия) Вторичная ответственность ФГБОУ ВО "Дагестанский государственный технический университет" z03700 Махачкала (Россия) Вторичная ответственность ФГБОУ ВО "Дагестанский государственный технический университет" z04700 Махачкала (Россия) Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0131-9582 |
| Название источника | Стекло и керамика |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | № 12. - С. 37-39 |
|
RU 45642206 20190117 RCR |
|
|
RU 45642206 20190117 |
|
|
RU AR-MARS 20190117 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20190117 |
|
| Тип документа | b |
|
code year no ss ad |
|
|
stik 2018 12 37 1 |
|
| 965 | |
| На предприятиях и в институтах |
