Способ обработки кварцевой оснастки в процессе изготовления структур микро- и наноэлектроники
Исламов, Т. А., Саркаров, Т. Э., Шахмаева, А. Р., Шангереева, Б. А.
Способ обработки кварцевой оснастки в процессе изготовления структур микро- и наноэлектроники, [[Текст]], Т. А. Исламов [и др.]
1 табл.
// Стекло и керамика .-
2018 .-
№ 12. - С. 37-39 .-