| Индекс УДК | 666.3/.7 |
|
Защита поверхности кремниевых подложек на основе легкоплавкого стекла для изготовления кремниевых транзисторов [Текст] Т. А. Исмаилов [и др.] |
|
| Аннотация | Предложены различные методы защиты поверхности кремниевых подложек для изготовления кремниевых транзисторов. Приведены результаты проведения термических операций с технологическими режимами получения легкоплавкого стеклообразного слоя в целях защиты поверхности подложек p-n-переходов от различных внешних воздействий. |
| Название источника | Стекло и керамика |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | № 5. - С. 25-28 |
