Применение карбидокремниевого песка в технологии обработки обратной стороны кремниевых транзисторных структур
Шахмаева, А. Р., Казалиева, Э.
Применение карбидокремниевого песка в технологии обработки обратной стороны кремниевых транзисторных структур, А. Р. Шахмаева, Э. Казалиева
4 рис.
// Стекло и керамика .-
2023 .-
№ 6. - С. 69-72 .-