| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | ivch23_to66_vy1_ss48_ad1 |
| Дата корректировки | 9:21:21 31 марта 2023 г. |
| Кодируемые данные | 230313s2023||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-ivch23_to66_vy1_ss48_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БУК Омская государственная областная научная библиотека им. А.С. Пушкина МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
eng eng |
| Индекс УДК |
544.55 544.4 |
| Индекс ББК |
24.55 24.542 |
|
Таблицы для массовых библиотек Таблицы для массовых библиотек |
|
|
Efremov, A. M. Ивановский государственный химико-технологический университет 070 |
|
|
Features of plasma composition and fluorine atom kinetics in CHF[3] + O[2]gas mixture A. M. Efremov, D. E. Bashmakova, Kwang-Ho Kwon |
|
|
Особенности состава плазмы и кинетики атомов фтора в смеси CHF[3] + O[2] rus |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 2 рис., 2 табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 54-55 (25 назв.) |
| Аннотация | Исследовано влияние начального состава смеси CHF[3] + O[2] на электрофизические параметры плазмы, стационарные концентрации активных частиц и кинетику атомов фтора в условиях постоянства давления газа и вкладываемой мощности. При совместном использовании диагностики плазмы зондами Ленгмюра и модельного анализа кинетики плазмохимических процессов подтверждены известные из предшествующих работ особенности состава плазмы при отсутствии кислорода (в частности - доминирование молекул HF в газовой фазе). |
|
Химия AR-MARS Химия плазмы AR-MARS Химическая кинетика AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
плазмы составы плазмы активные частицы полимеризация диссоциация травление атомы фтора электрофизические параметры плазмы кинетика атомов фтора давление газа зонды Ленгмюра Ленгмюра зонды |
|
Bashmakova, D. E. Ивановский государственный химико-технологический университет 070 |
|
| Другие авторы |
Kwang-Ho Kwon Korea University 070 |
| ISSN | 0579-2991 |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | Т. 66, вып. 1. - С. 48-55 |
|
RU 64417093 20230313 RCR |
|
|
RU 64417093 20230313 |
|
|
RU AR-MARS 20230313 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20230313 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
ivch 2023 66 1 48 1 |
|
| 421 | |
| Химия | |
|
Ефремов, А. М. Александр Михайлович 070 Башмакова, Д. Е. Дарья Евгеньевна 070 |
|
|
Кванг-Хо Квон 070 |
