| Индекс УДК |
544.55 544.4 |
|
Features of plasma composition and fluorine atom kinetics in CHF[3] + O[2]gas mixture A. M. Efremov, D. E. Bashmakova, Kwang-Ho Kwon |
|
| Аннотация | Исследовано влияние начального состава смеси CHF[3] + O[2] на электрофизические параметры плазмы, стационарные концентрации активных частиц и кинетику атомов фтора в условиях постоянства давления газа и вкладываемой мощности. При совместном использовании диагностики плазмы зондами Ленгмюра и модельного анализа кинетики плазмохимических процессов подтверждены известные из предшествующих работ особенности состава плазмы при отсутствии кислорода (в частности - доминирование молекул HF в газовой фазе). |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | Т. 66, вып. 1. - С. 48-55 |
