| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zhps21_to88_no5_ss743_ad1 |
| Дата корректировки | 12:51:50 31 мая 2022 г. |
| Кодируемые данные | 220504s2021||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zhps21_to88_no5_ss743_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК |
535.33 539.2 |
| Индекс ББК |
22.344 22.37 |
|
Таблицы для массовых библиотек Таблицы для массовых библиотек |
|
|
Тихий, А. А. 070 |
|
|
Оптические и рентгеновские исследования пленок оксида индия на сапфировых подложках А. А. Тихий, Е. А. Свиридова, Ю. И. Жихарева, И. В. Жихарев |
|
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 747 (15 назв. ) |
| Аннотация | Представлены результаты эллипсометрических, рентгеноструктурных и спектральных исследований пленок Al[2]O[3], полученных методом dc-магнетронного распыления на подложках Al[2]O[3] (012). Интерпретация данных проведена в рамках трехслойной модели пленки. Предположено, что в начале напыления на поверхности подложки формируются крупные частицы материала, затем размер кристаллитов становится меньше и они заполняют промежутки между более крупными частицами, после чего процесс формирования пленки переходит в стационарный режим. На границе раздела между пленкой и подложкой установлено наличие переходного слоя с шириной запрещенной зоны 1. 39 эВ, показателем преломления -3 и толщиной 25 нм. Свойства этого слоя не зависят от времени напыления. |
|
Физика AR-MARS Спектроскопия AR-MARS Физика твердого тела. Кристаллография в целом AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
магнетронное распыление оксид индия оптические исследования оптическое пропускание рентгеновские исследования рентгеноструктурный анализ тонкие пленки эллипсометрия |
|
Свиридова, Е. А. 070 Жихарева, Ю. И. 070 Жихарев, И. В. 070 |
|
| ISSN | 0514-7506 |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 88, № 5. - С. 743-747 |
|
RU 43013090 20220504 RCR |
|
|
RU 43013090 20220504 |
|
|
RU AR-MARS 20220504 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20220504 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zhps 2021 88 5 743 1 |
|
| 718 |
