| Индекс УДК |
535.33 539.2 |
|
Оптические и рентгеновские исследования пленок оксида индия на сапфировых подложках А. А. Тихий, Е. А. Свиридова, Ю. И. Жихарева, И. В. Жихарев |
|
| Аннотация | Представлены результаты эллипсометрических, рентгеноструктурных и спектральных исследований пленок Al[2]O[3], полученных методом dc-магнетронного распыления на подложках Al[2]O[3] (012). Интерпретация данных проведена в рамках трехслойной модели пленки. Предположено, что в начале напыления на поверхности подложки формируются крупные частицы материала, затем размер кристаллитов становится меньше и они заполняют промежутки между более крупными частицами, после чего процесс формирования пленки переходит в стационарный режим. На границе раздела между пленкой и подложкой установлено наличие переходного слоя с шириной запрещенной зоны 1. 39 эВ, показателем преломления -3 и толщиной 25 нм. Свойства этого слоя не зависят от времени напыления. |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 88, № 5. - С. 743-747 |
