| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | ivch21_to64_vy7_ss46_ad1 |
| Дата корректировки | 12:22:16 29 ноября 2021 г. |
| Кодируемые данные | 211111s2021||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-ivch21_to64_vy7_ss46_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БУК Омская государственная областная научная библиотека им. А.С. Пушкина МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
eng eng |
| Индекс УДК | 547 |
| Индекс ББК | 24.2 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Efremov, A. M. Ивановский государственный химико-технологический университет 070 |
|
|
Plasma parameters and densities of active species in mixtures of fluorocarbon gases with argon and оxygen A. M. Efremov, V. B. Betelin, K. A. Mednikov, Kwang-Ho Kwon |
|
|
Параметры плазмы и концентрации активных частиц в смесях фторуглеродных газов с аргоном и кислородом rus |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 3 рис., 1 табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 52-53 (26 назв.) |
| Аннотация | Проведено сравнительное исследование электрофизических параметров плазмы и стационарного состава газовой фазы в плазме индукционного ВЧ 13б56 МГц разряда в смесях фторуглеродных газов с аргоном и кислородом. В качестве постоянных внешних параметров выступали доля фторуглеродного компонента (50%), общее давление газа (6 мтор), вкладываемая мощность (700 Вт) и мощность смещения (200 Вт). Схема исследования включала диагностику плазмы зондами Лангмюра и 0-мерное (глобальное) моделирование кинетики плазмохимических процессов. |
|
Химия AR-MARS Органическая химия в целом AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
фторуглеродные газы плазмы параметры активные частицы ионизация диссоциация травление полимеризация зонды Лангмюра Лангмюра зонды |
|
Betelin, V. B. ФГУ ФНЦ НИИСИ РАН 070 Mednikov, K. A. ФГУ ФНЦ НИИСИ РАН 070 |
|
| Другие авторы |
Kwang-Ho Kwon Korea University 070 |
| ISSN | 0579-2991 |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 64, вып. 7. - С. 46-53 |
|
RU 64417093 20211111 RCR |
|
|
RU 64417093 20211111 |
|
|
RU AR-MARS 20211111 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20211111 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
ivch 2021 64 7 46 1 |
|
| 421 | |
| Химия | |
|
Ефремов, А. М. Александр Михайлович 070 Бетелин, В. Б. Владимир Борисович 070 Медников, К. А. Константин Александрович 070 |
|
|
Kwang-Ho Kwon 070 |
